主要應(yīng)用于在各種光學(xué)玻璃器件和含硅材料的拋光,如精密光學(xué)鏡頭、光學(xué)眼鏡片、示波管、平板玻璃、半導(dǎo)體晶片和金屬精密制品等的拋光。
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